مثالية للبحوث والدراسات الطيف.

موازية لوحة نوع RIE - 11 "القطب العلوي و9" أدنى الكهربائي

متعددة رقاقة حجم تصميم ما يصل إلى رقائق "(8)

الجرافيت ميزة لوحة

ارتفاع قابل للتعديل القطب العلوي

SEIKO سيكي توربو مضخة (STP-H300C) ث / سايكو سيكي STP تحكم

9 MFC (جميع MKS 1159)

المتقدمة للطاقة RFPP 5S ث / AM5 شبكة المطابقة

290 وحدة تحكم ايون المقياس

MKS 286 المراقب المالي

قطع مربع

Plasmatherm PC نظام التشغيل

208V، 60amp، 60HZ 3 مرحلة