خلاصة التقنية

شرائط من رقائق مقاوم الضوء من خلال عملية البلازما.

11 مضخة ميكانيكية CFM
13.56 ميغاهيرتز RF مولد 200 واط
اثنين من الغازات
120V، 50/60HZ، 15amps
مستخدم المالكين