Прыбытковасць інжынерных сістэм; ДЫ-5 вакуумнай Выпякаць пара прэм'ер-сістэмы. Сістэма прызначана для стварэння ідэальнай паверхні фотарэзіст адгезіі.

1. Мікрапрацэсарнай кантролер вытворчасці з удзелам маніторынгу
2. Multi-магчымасці праграмавання
3. Цыкл поўнага / перапыніць святла і sonalert
4. Электрополировка нержавеючай сталі 316 камеры
5. Унутраная камера швоў
6. Два незалежных перамыкачоў бяспекі ад перагрэву
7. Падагрэтае азоту
8. Азот фільтр 0,5 мкм
9. Топ-зварной, унутраныя паліцы з нержавеючай сталі
10. Праграма блакавання
11. Бакавыя HMDS колбу