Тэхнічныя сінопсіс

Прэм'ер-сістэма апрацоўкі

Сістэма выхаду тэхнікі (YES) LP-III трифункциональных вакуумную печ, якая можа быць выкарыстана для вакуумнай пара грунтоўкі, малюнак развароту і силилирования. З HMDS кіраўнік колбу з, прылада будзе працаваць як стандартная грунтоўка вакуум пароў. HDMS пара грунтоўка ўжываецца для паляпшэння адгезіі фотарэзіст на пласціне. З HDMS награвальнік, прылада забяспечыць больш высокі ціск гарачай HDMS для силилирования.

* Мікрапрацэсарнае кіраванне
* 120 У пераменнага току; 11/03; 60 Гц; 1300 аў
* Падагрэтае N2 (тэхналагічных газаў)
* Замкоў
* Вакуумнага помпы - CFM
* Кіраўніцтва карыстальніка
* Тэмпература дасягае 200 градусаў Цэльсія