RIE сістэмы з наступнымі характарыстыкамі:

• Fullly аўтаматызаванай RIE сістэмы з кампутарным кіраваннем, CRT і клавіятуры  
• SST палаты  
• 12 "з вадзяным астуджэннем электродаў  
• Balzers Turbo помпы  
• Leybold механічны помпа  
• AE 600 RFX харчавання з аўтаматычным адпаведныя сеткі  
• Выяўленне лазернага Endpoint
• Bay Voltex вады Chiller