Прадукцыя: плазменныя
Plasmatherm серыі 700 RIE сістэмы
Ідэальна падыходзіць для даследаванняў і спектраметрыі даследавання.
Паралельна пласціністага тыпу гарыць - 11 "Верхні электрод і 9" ніжні электрод
Multi-пласціны памерам распрацаваць да 8 "пласцін
Графітавыя пласціны функцыя
Рэгуляваная вышыня верхняга электрода
Seiko Seiki турбонасос (STP-H300C) ж / Seiko Seiki STP кантролер
9 MFC (усе MKS 1159)
Advanced Energy RFPP 5S ж / АМ5 адпаведнасці сеткі
290 Іён калібровачнае кантролера
MKS 286 кантролер
Адключыце акно
Plasmatherm АС для ПК
208V, 60amp, 60 Гц 3 фазы
















































