Технически Кратък обзор

Система за филм Измерване

Дебелина обхват

* 100-500,000 angstroms

Размер на светлинното петно

* 50ym с 5x цел
* 25ym с 10x цел
* 6.5ym с 40x цел

Възпроизводимост

* 5а + или - 5%
* Зависи от филм тип
* Време на измерване 2.5 сек (типично)

ФИЛМОВИ ВИДОВЕ

* Нитрид върху Силиконовата
* Полисиликонов на оксид
* Нитрид на оксид
* Оксид на силиций
* Отрицателно Не се поддавайте на Силиконовата
* Отрицателно Не се поддавайте на оксид
* (Дебели филми) 115V 50/60 Hz