Технически Кратък обзор

Председател Processing System

Системата доходност Инженеринг (YES) LP-III е Tri-функционален вакуумна пещ, че може да се използва за на вакуум грундиране пари, обръщането на изображението и силилация. С HMDS главата колба изключен, уредът ще функционира като стандартен грунд вакуум, пари. HDMS пари грундиране се използва, за да се подобри адхезията на фоторезист да вафли. С HDMS нагревател, апаратът ще се предоставят по-високи налягане горещи HDMS, за силилация.

* Микропроцесорно управление
* 120 VAC; 11,3; 60Hz 1300 вата
* Предварително загрята N2 (технологичния газ)
* Заключване на клавиатурата
* Vaccuum помпа - CFM
* Ръководство на потребителя
* Температура по-висока от 200 градуса по Целзий