Перфектен за изследователски & Спектрометрия проучвания.

Паралелно плоча тип РИО - 11 "Горна електрод и 9" по-ниско електрод

Multi-вафла Размер дизайн до 8 "вафли

Графит функция плоча

Регулируема височина на горната част на електрода

Seiko Seiki турбо помпа (STP-H300C), W / Seiko Seiki STP контролер

9 MFC (всички MKS 1159)

Разширено Energy RFPP 5S W / AM5 съвпадение мрежа

290 Ion Gauge контролер

MKS 286 Controller

Изключете кутия

Plasmatherm PC OS

208v, 60amp, 60Hz 3 фаза