Perfecte per a estudis d'investigació i de Espectrometria.

Paral · lelament placa RIE - 11 "elèctrode superior i 9" elèctrode inferior

Multi-hòstia de dissenyar la grandària de fins a 8 "hòsties

Placa de característiques de grafit

Alçada ajustable elèctrode superior

Seiko Seiki turbo bomba (STP-H300C) w / Seiko Seiki STP controlador de

9 MFC (tots MKS 1159)

Advanced Energy RFPP 5S w / AM5 xarxa d'adaptació

Ion 290 controlador de mesurador

MKS 286 Controller

Desconnecteu el quadre de

Plasmatherm operatiu de PC

208V, 60amp, 60 Hz 3 fases