Technická filmu

Film Systém měření

Tloušťky

* V 100-500,000 angström

Velikost spotu

* V 50ym s 5x cíl
* V 25ym s 10x cíl
* V 6.5ym s 40x cíl

Reprodukovatelnost

* 5A + nebo - 5%
* Závisí na typu filmu
* Doba měření 2,5 s (typicky)

Typů filmu

* Nitrid na křemíku
* Polysilikonov na Oxide
* Nitrid na Oxide
* Oxid na křemíku
* Negativní Resist na křemíku
* Negativní Resist na Oxide
* (Tlustých vrstev) 115 50/60 Hz