Výnos Engineering System; ANO-5 je vakuová Pečeme Vapor předseda systém. Systém je určen pro vytvoření ideální plochu pro fotorezistu přilnavosti.

1. Mikroprocesorové řízení výstupu se vstupní kontroly
2. Více možností programování
3. Kompletní cyklus / přeruší lehký a sonalert
4. Elektrolyticky 316 nerezová ocel komory
5. Vnitřní komora svary
6. Dva nezávislé přepínače přehřátí bezpečnostní
7. Předehřátý dusíku
8. Dusík filtr 0,5 mikronů
9. Top-svařované, vnitřní nerezové police
10. Program zámek-out
11. Na boku umístěný HMDS baňka