Technická filmu

Výška 34 "
Šířka 24 "
Hloubka 36 "
Hmotnost cca: 400 LBS
Čerpadlo D 30
Wafer Kapacita: 100-125mn 220 VAC

Elektroda CAGE
Výška 8,26 "
Šířka 16,37 "
Hloubka 12,38 "

Reakční komory
Výška 10 "
Šířka 18 "
Hloubka 12,75 "