Produkter: Plasma
Axic PlasMaster RIE System
RIE System med følgende funktioner:
- Fullly automatiseret RIE system med computerstyring, CRT og tastatur
- SST Afdeling
- 12 "vandkølet Elektrode
- Balzers turbopumpe
- Leybold mekanisk pumpe
- AE RFX 600 Power Supply med automatisk matchende netværk
- Laser Endpoint Detection
- Bay Voltex vandkøler
