Perfekt til Forskning & Spectrometry undersøgelser.

Parallelt pladetypen RIE - 11 "øvre elektrode og 9" nedre elektrode

Multi-wafer størrelse designe op til 8 "vafler

Grafit funktion plade

Justerbar øvre elektrode højde

Seiko seiki turbo pumpe (STP-H300C) w / Seiko Seiki STP controller

9 MFC (alle MKS 1159)

Advanced Energy RFPP 5S vægt / AM5 tilpasningsnetværk

290 Ion Gauge controller

MKS 286 Controller

Afbryd box

Plasmatherm PC OS

208V, 60amp, 60Hz 3-faset