RIE-System mit den folgenden Features:

• Satt automatisierte RIE System mit Computer-Steuerung, CRT-und Keyboard  
• SST Kammer  
• 12 "Wasser gekühlten Elektrode  
• Balzers Turbopumpe  
• Leybold mechanische Pumpen  
• AE RFX 600 Netzteil mit Auto-Matching-Netzwerk  
• Laser Endpoint Detection
• Bay Voltex Wasserkühlgerät