Perfekt für Forschung & Studien-Spektrometrie.

Parallelplattentyp RIE - 11 "Obere Elektrode & 9" untere Elektrode

Multi-Wafer-Größe entwerfen bis zu 8 "-Wafer

Graphite Feature Platte

Einstellbare obere Elektrode Höhe

Seiko Seiki Turbopumpe (STP-H300C) w / Seiko Seiki STP-Controller

9 MFC (alle MKS 1159)

Advanced Energy RFPP 5S w / AM5 Anpassnetzwerk

290 Ion Gauge Controller

MKS 286-Controller

Trennen Box

Plasmatherm PC-Betriebssystem

208V, 60amp, 60Hz 3 Phasen