Produkte: Oberflächen-Profilers
Dektak IIA
- Programmierbare lineare Scan-System für präzise Messungen an vertikalen Merkmale mit Höhen von 100 verwendet - 655.000 Angström
- Vertikale Auflösung 5 Angström-, Scan-Zeit 4 - 65 Sekunden
- 12,5 Mikrometer Radius Stift mit einem 10 - 50mg Auflagekraft
- Bühne kann bis zu einem 5 "Durchmesser Wafer oder Teile bis zu 3/4" dick
- Maximal 1000 Datenpunkte
- 3 Scan-Geschwindigkeiten
- 70x Mikroskop ist Standard
