Τεχνική Περίληψη

Prime Σύστημα Επεξεργασίας

Το Σύστημα Μηχανικής Απόδοση (ΝΑΙ) LP-III είναι ένα τρι-λειτουργικό φούρνο κενού που μπορεί να χρησιμοποιηθεί για το αστάρωμα σκούπα ατμού, αναστροφή εικόνας και σιλυλίωση. Με το κεφάλι HMDS φιάλη μακριά, η μονάδα θα λειτουργήσει ως πρότυπο αστάρι σκούπα ατμού. ΕΣΔΔ αστάρωμα ατμών χρησιμοποιείται για να βελτιώσει την πρόσφυση της photoresist στην γκοφρέτα. Με την ΕΣΔΔ θερμάστρα, η μονάδα θα παρέχει υψηλότερη πίεση ζεστό ΕΣΔΔ για σιλυλίωση.

* Ελεγχόμενη μικροεπεξεργαστή
* 120 VAC? 11,3? 60Hz? 1300 βατ
* Προθερμαίνετε το Ν2 (Διαδικασία Αερίου)
* Κλειδώματος
* Αντλία vaccuum - CFM
* Εγχειρίδιο Χρήστη
* Θερμοκρασία τόσο υψηλό όπως 200 βαθμούς C