RIE σύστημα με τα ακόλουθα χαρακτηριστικά:

• Fullly αυτοματοποιημένο σύστημα RIE με υπολογιστή ελέγχου, CRT και πληκτρολογίου  
• SST Επιμελητήριο  
• 12 "υδρόψυκτες ηλεκτροδίου  
• Balzers turbo αντλία  
• Leybold μηχανική αντλία  
• ΑΕ RFX σε 600 Τροφοδοσία με αυτόματη αντιστοίχιση δικτύου  
• Ανίχνευση Laser Endpoint
• Bay Ψύκτες Νερού Voltex