Τεχνική Περίληψη

Ταινίες photoresist από γκοφρέτες μέσω της διαδικασίας του πλάσματος.

CFM Μηχανική αντλία (προαιρετικά)
13,56 MHz RF γεννήτρια 200 Watt
Δύο Αέρια
120V, 50/60Hz, 15 Amps
Εγχειρίδιο