Sinopsis Técnica

El de marzo de CS-1701 Grabado por iones reactivos (RIE) sistema de entrega de grabado de metal de alta final, siliciuro de grabado y el grabado de los compuestos III-V, grabado anisotrópico de oxcides, nitratos y poliamidas.

Reactor Módulo

Gas Módulo de Manejo de

Generador de RF

10 "D x 1.5" H (25,4 x 3,8 cm) de aluminio anodizado duro

Sostiene el 4 "o 6" de la oblea, 8 "capacidad opcional

0-600 vatios

Sintonización automática

La detección automática de punto final óptica