Technical Synopsis

Film Mõõtesüsteem

Paksus Range

* 100-500,000 angstroms

Koha suurus

* 50ym 5x Eesmärk
* 25ym koos 10X Eesmärk
* 6.5ym koos 40X Eesmärk

Reprodutseeritavus

* 5A + - 5%
* Sõltub film liik
* Mõõtmise aeg 2,5 sek (tüüpiline)

FILM LIIGID

* Nitriidid räni
* Polükristalset on Oxide
* Nitriidid on Oxide
* Oxide räni
* Negatiivsed Resist räni
* Negatiivsed Resist on Oxide
* (Paks Films) 115V 50/60 Hz