RIE süsteem, millel on järgmised omadused:

• Fullly automatiseeritud RIE süsteemi arvuti kontrolli, CRT ja klaviatuur  
• SST koda  
• 12 "vesijahutusega Elektroodi  
• Balzers Turbo Pump  
• LEYBOLD Mechanical Pump  
• AE RFX 600 toide auto sobitamine võrk  
• Laser Endpoint Detection
• Bay VOLTEX Vesi jahuti