Technical Synopsis

Märts CS-1701 Reactive Ion Etch (RIE) Süsteem annab kalli metalli söövitamine, silicide ofort ja ofort ja III-V ühenditest, anisotroopsete söövitamine oxcides nitraadid ja polüimiidid.

Reactor Module

Gas Handling Module

RF Generator

10 "D x 1,5" H (25,4 x 3,8 cm) raske anodeeritud alumiiniumist

Hoiab 4 "või 6" vahvel, 8 "võime vabatahtlik

0-600 vatti

Automatic tuning

Automaatne optiline lõpp avastamise