عملکرد سیستم مهندسی YES-5 خلاء سیستم پخت بخار نخست. سیستم طراحی شده است برای ایجاد سطح ایده آل برای چسبندگی photoresist.

1. کنترل میکروپروسسوری از خروجی با نظارت ورودی
2. برنامه نویسی قابلیت چند
3. چرخه کامل / سقط نور و sonalert
4. Electropolished 316 محفظه فولاد ضد زنگ
5. داخلی جوش اتاق
6. دو سوئیچ ایمنی overtemperature مستقل
7. نیتروژن قبل گرم کردید بگذارید
8. نیتروژن فیلتر، 0.5 میکرون
9. بالا جوش داده شده، قفسه داخلی از جنس استنلس استیل فولاد
10. برنامه قفل کردن
11. طرف سوار فلاسک HMDS