سیستم RIE با ​​ویژگی های زیر:

• Fullly خودکار سیستم RIE با ​​کنترل کامپیوتری، CRT و صفحه کلید  
• SST اتاق  
• 12 "الکترود آب سرد  
• پمپ Balzers توربو  
• Leybold پمپ مکانیکی IECC  
• AE RFX 600 منبع تغذیه با تطبیق خودکار شبکه  
• لیزری تشخیص نقطه پایانی
• چیلر آب خلیج Voltex