خلاصه داستان فنی

مارس CS-1701 واکنشگر یون اچ (RIE) سیستم ارائه پایان اچ فلزی، ترکیب دو ظرفیتی سیلیکون قلم زنی و حکاکی با اسید از ترکیبات III-V، اچینگ های ناهمسانگردی oxcides، نیترات ها و polyimides.

ماژول راکتور

ماژول حمل گاز

RF ژنراتور

10 "D * 1.5" H (25.4 * 3.8 سانتی متر) آلومینیوم آنودایز سخت

در 4 "و 6" نان فطیر، 8 قابلیت اختیاری نگه می دارد

0-600 وات

تنظیم خودکار

خودکار تشخیص نقطه پایانی نوری