خلاصه داستان فنی

نوارها از ویفر از طریق فرایند پلاسما photoresist.

11 پمپ مکانیکی CFM
13.56 مگاهرتز RF ژنراتور 200 وات
دو گاز
120V ، 50/60Hz ، 15amps
کتابچه راهنمای کاربری