Tekninen Synopsis

Film mittausjärjestelmä

Paksuusalue

* 100-500,000 Ängströmiä

Spot koko

* 50ym 5X tavoite
* 25ym 10x tavoite
* 6.5ym 40x tavoite

Uusittavuus

* 5A + tai - 5%
* Riippuu kalvolajiin
* Mittauksen kesto 2,5 sekuntia (tyypillinen)

Kalvolajeja

* TiN on Silicon
* Monikiteistä on Oxide
* TiN on Oxide
* Oxide on Silicon
* Negative Vastusta on Silicon
* Negative Vastusta on Oxide
* (Paksu Films) 115V 50/60 Hz