Tekninen Synopsis

Prime Processing System

Saanto Engineering System (YES) LP-III on tri-funktionaalisen tyhjöuunissa, joita voidaan käyttää tyhjö höyry pohjustus, kuva kääntyminen ja silyloituminen. Kun HMDS pullon pään irti, laite toimii tavallisena tyhjiö höyry pohjamaalilla. HDMS höyryn pohjustus käytetään parantamaan adheesiota fotoresisti on kiekon. Kun HDMS lämmitin, laite toimittaa enemmän kuumaa HDMS for silylointia.

* Mikroprosessoriohjaus
* 120 VAC, 11,3, 60 Hz, 1300 W
* Esilämmitetty N2 (Process Gas)
* Keylock
* PUHDISTUS Pump - CFM
* Käyttöohje
* Niinkin korkea kuin 200 ° C