RIE System seuraavat ominaisuudet:

• Fullly automatisoitu RIE järjestelmä tietokoneohjauksella, CRT ja näppäimistö  
• SST Chamber  
• 12 "vesijäähdytteinen Elektrodi  
• Balzers Turbo Pumppu  
• Leybold mekaaninen pumppu  
• AE RFX 600 virtalähde auto matching verkkoon  
• Laser Endpoint Detection
• Bay Voltex vesi jäähdytysja