Tekninen Synopsis

Maaliskuussa CS-1701 reaktiivisia Ion Etch (RIE)-järjestelmä tarjoaa huippuluokan metalli etsaus, silicide etsaus ja etsaus ja III-V-yhdisteet, anisotrooppinen etsaus oxcides, nitraattien ja polyimidit.

Reaktorin Module

Kaasun käsittely Module

Suurtaajuusgeneraattorin

10 "D x 1.5" H (25,4 x 3,8 cm) kova anodisoitu alumiini

Tilaa on 4 "tai 6" vohveli, 8 "ominaisuus valinnainen

0-600 wattia

Automaattinen viritys

Automaattinen optinen päätepisteen tunnistus