Synopsis technique

Le Mars 1701 CS-gravure ionique réactive (RIE) délivre système haute gravure métallique fin, siliciure de gravure et la gravure de composés III-V, la gravure anisotrope de oxcides, les nitrates et les polyimides.

Module réacteur

Module Gestion de gaz

Générateur RF

10 "D x 1.5" H (25,4 x 3,8 cm) en aluminium anodisé dur

Dit le 4 "ou 6" wafer, 8 "capacité en option

0-600 watts

La syntonisation automatique

Détection automatique de point de terminaison optique