Teacht isteach Córas Innealtóireachta; TÁ-5 Is Fholúis Bake Vapor Príomh Chóras. Tá an córas ceaptha a chruthú ar an dromchla iontach do greamaitheacht photoresist.

1. Rialú microprocessor d'aschur le monatóireacht a dhéanamh ar ionchur
2. Il-chláir cumais
3. Timthriall iomlán / tobscoir éadrom agus sonalert
4. Electropolished 316 cruach dhosmálta seomra
5. Inmheánach welds seomra
6. Dhá lasca sábháilteachta neamhspleách overtemperature
7. Nítrigin réamhthéite
8. Nítrigin scagaire, 0.5 micron
9. Barr-táthaithe, seilf cruach dhosmálta inmheánach
10. Clár frithdhúnadh
11. Taobh-suite HMDS fleascán