Achoimre Teicniúil

Córas Próiseála Príomh-

Is é an Córas Innealtóireachta Toradh (TÁ) LP-III oigheann bhfolús trí-feidhme gur féidir a úsáid le haghaidh bhfolús priming gal, cúlú íomhá agus silylation. Leis an ceann fleascán HMDS amach, beidh an t-aonad feidhmiú mar primer bhfolús caighdeánach gal. Tá HDMS gaile priming a úsáidtear chun feabhas a chur ar an adhésion de na photoresist chuig an wafer. Leis an téitheoir HDMS ar, beidh an t-aonad a sholáthar HDMS brú níos airde te do silylation.

* Microprocessor Rialaithe
* 120 VAC; 11.3; 60hz; 1300 vata
* N2 réamhthéite (Gáis Próiseas)
* Keylock
* Vaccuum Caidéal - CFM
* Úsáideora Lámhleabhar
* Teocht mar Ard-200 céim C