Rendemento Enxeñaría de sistemas; SI-5 é un baleiro bake Vapor Sistema Prime. O sistema está deseñado para crear a superficie ideal para a adhesión fotorresiste.

1. Control do microprocesador de saída co seguimento de entrada
2. Múltiples programación capacidades
3. Ciclo completo / abortar luz e Sonalert
4. Eletropolidos cámara de aceiro inoxidable 316
5. Cámara interna soldados
6. Dúas chaves de seguridade independentes sobretemperatura
7. Nitróxeno pre-Calefacción
8. Nitróxeno filtro, 0,5 mícron
9. Top-soldado, andel de aceiro inoxidable interior
10. Programa de lock-out
11. Montado no lateral bote HMDS