Perfecto para estudos de investigación e espectrometría.

De placas paralelas tipo Rie - 11 "electrodos superior e 9" electrodos inferior

Múltiples wafer tamaño proxecto ata 8 "wafers

Placa de recurso de Grafito

Altura axustable electrodos superior

Seiko seiki turbo bomba (STP-H300C) w / Seiko Seiki STP controlador

9 MFC (todos MKS 1159)

Advanced Energy RFPP 5S w / AM5 rede correspondencia

290 medidor controlador Ion

MKS 286 Controlador

Desconecte caixa

Plasmatherm PC OS

208V, 60 ampères, 60Hz 3 fases