तकनीकी सार

फिल्म मापन प्रणाली

मोटाई रेंज

* 100-500,000 angstroms

स्पॉट आकार

5X उद्देश्य के साथ * 50ym
10X उद्देश्य के साथ * 25ym
40X उद्देश्य के साथ * 6.5ym

Reproducibility

* + 5A या 5%
* फिल्म के प्रकार पर निर्भर
* मापन समय 2.5 सेकंड (ठेठ)

फिल्म प्रकार

पर सिलिकॉन नाइट्राइड *
* ऑक्साइड पर Polysilicon
* ऑक्साइड पर नाइट्राइड
पर सिलिकॉन ऑक्साइड *
सिलिकॉन पर नकारात्मक विरोध
* ऑक्साइड पर नकारात्मक विरोध
* (मोटा फिल्में) 115V / 50 60 हर्ट्ज