इंजीनियरिंग सिस्टम की उपज है, हाँ-5 एक वैक्यूम बनाओ भाप प्रधानमंत्री प्रणाली है. प्रणाली के photoresist आसंजन के लिए आदर्श सतह बनाने के लिए डिज़ाइन किया गया है.

1. इनपुट निगरानी के साथ उत्पादन की माइक्रोप्रोसेसर नियंत्रण
2. बहु - प्रोग्रामिंग क्षमताओं
3. चक्र पूरा / से गर्भपात प्रकाश और sonalert
4. Electropolished 316 स्टेनलेस स्टील कक्ष
5. आंतरिक कक्ष welds
6. दो स्वतंत्र overtemperature है सुरक्षा स्विच
7. Preheated नाइट्रोजन
8. नाइट्रोजन फिल्टर, 0.5 माइक्रोन
9. शीर्ष वेल्डेड, आंतरिक स्टेनलेस स्टील शेल्फ
10. ताला बाहर कार्यक्रम
11. साइड - चढ़कर HMDS कुप्पी