अनुसंधान एवं स्पेक्ट्रोमेट्री अध्ययन के लिए बिल्कुल सही.

11 "ऊपरी इलेक्ट्रोड और 9" कम इलेक्ट्रोड - समानांतर थाली प्रकार आर.आई.ई.

बहु - आकार मे 8 "वेफर्स ऊपर डिजाइन

ग्रेफाइट सुविधा प्लेट

समायोज्य ऊपरी इलेक्ट्रोड ऊंचाई

Seiko Seiki टर्बो (एसटीपी-H300C) के पंप w / Seiko Seiki एसटीपी नियंत्रक

9 MFC के (सभी 1159 MKS)

उन्नत ऊर्जा RFPP 5S w / AM5 मिलान नेटवर्क

290 आयन गेज नियंत्रक

286 नियंत्रक MKS

बॉक्स डिस्कनेक्ट

Plasmatherm पीसी ओएस

208V, 60amp, 60Hz 3 चरण