तकनीकी सार

स्ट्रिप्स प्लाज्मा प्रक्रिया के माध्यम से वेफर्स से photoresist.

11 CFM यांत्रिक पम्प
13.56 मेगाहर्टज आरएफ 200 वाट जनरेटर
दो गैसों
120v, 50/60Hz, 15amps
उपयोगकर्ता के मैनुअल