Technikai Áttekintés

Film mérőrendszer

Vastagsági tartományban

* 100-500,000 Angström

Katódsugárcső fénypontjának a mérete

* 50ym, 5-szörös célkitűzés
* 25ym 10x célkitűzés
* 6.5ym 40x célkitűzés

Reprodukálhatóság

* 5A + vagy - 5%
* Függ fóliatípushoz
* Mérési idő 2,5 sec (tipikus)

FILM TÍPUSOK

* Nitrid a Silicon
* A poliszilícium-oxid
* A nitrid-oxid
* Oxide Silicon on
* A negatív Resist a Silicon
* A negatív Resist az oxid
* (Vastag Films) 115V 50/60 Hz