Technikai Áttekintés

A CS-1701 március reaktív ion Etch (RIE) rendszer biztosítja a high-end fém maratás, szilicid rézkarc és a rézkarc III-V vegyületek, az anizotróp maratás oxcides, nitrátok és poliimidek.

Reactor modul

Gázkezelő modul

RF generátor

10 "D x 1.5" H (25,4 x 3,8 cm) kemény eloxált alumínium

Tart a 4 "vagy 6" ostya, 8 "képesség opcionális

0-600 watt

Automatikus hangolás

Automatikus optikai végpont észlelése