Technikai Áttekintés

Csík fotoreziszt a ostya át a plazma folyamatot.

CFM Mechanikai szivattyú (opcionális)
13,56 MHz-es rádiófrekvenciás generátor 200 W
Két gáz
120V, 50/60Hz, 15 Amper
Kézikönyv