Teknis Sinopsis

Film Sistem Pengukuran

Tebal Rentang

* 100-500,000 angstrom

Spot ukuran

* 50ym dengan Tujuan 5X
* 25ym dengan Tujuan 10X
* 6.5ym dengan Tujuan 40X

Reproduktifitas

* 5A + atau - 5%
* Tergantung pada jenis film
* Pengukuran Waktu 2,5 detik (khas)

FILM JENIS

* Nitrida di Silicon
* Polysilicon pada Oksida
* Nitrida pada Oksida
* Oksida di Silicon
* Negatif Resist di Silicon
* Negatif Resist pada Oksida
* (Film Tebal) 115V 50/60 Hz