Teknis Sinopsis

Perdana Sistem Pengolahan

Teknik Produksi Sistem (YES) LP-III adalah tri-fungsional vakum oven yang dapat digunakan untuk priming uap vakum, pembalikan gambar dan sililasi. Dengan kepala labu HMDS off, unit akan berfungsi sebagai primer vakum uap standar. HDMS uap priming digunakan untuk meningkatkan adhesi dari photoresist untuk wafer. Dengan pemanas HDMS pada, unit akan memasok HDMS tekanan yang lebih tinggi panas untuk sililasi.

* Microprocessor Controlled
* VAC 120; 11,3; 60Hz; 1300 watt
* Dipanaskan N2 (Gas Proses)
* Keylock
* Vaccuum Pompa - CFM
* Pengguna Pedoman
* Suhu Tinggi sebagai sebagai 200 derajat C