RIE System dengan fitur berikut:

• Fullly otomatis RIE sistem dengan kontrol komputer, CRT dan Keyboard  
• SST Kamar  
• 12 "Elektroda Air Berpendingin  
• Balzers Turbo Pompa  
• Leybold Mesin Pompa  
• AE RFX 600 Power Supply dengan jaringan pencocokan otomatis  
• Laser Deteksi Endpoint
• Bay Voltex Water Chiller