Sempurna untuk studi Penelitian & Spektrometri.

Paralel pelat RIE - 11 "elektroda Atas & 9" elektroda yang lebih rendah

Multi-wafer ukuran merancang hingga 8 "wafer

Grafit fitur piring

Adjustable elektroda tinggi atas

Seiko Seiki turbo pompa (STP-H300C) w / Seiko Seiki STP kontroler

9 MFC (semua MKS 1159)

Lanjutan Energi RFPP 5S w / AM5 jaringan yang cocok

Ion 290 Gauge kontroler

MKS 286 Pengawas

Lepaskan kotak

Plasmatherm PC OS

208V, 60amp, 60Hz 3 fase