Ávöxtunarkrafa Engineering System; YES-5 er Vacuum Bakið Vapor forsætisráðherra System. Kerfið er hannað til að búa til hið fullkomna yfirborð fyrir photoresist viðloðun.

1. Örgjörvi stjórn framleiðsla með eftirlit inntak
2. Multi-forritun getu
3. Cycle heill / hætta ljós og sonalert
4. Electropolished 316 ryðfríu stáli deild
5. Innri kammertónlist suà ° ur
6. Tveir óháðir overtemperature öryggi skiptir
7. Forhita köfnunarefni
8. Köfnunarefni sía, 0,5 míkron
9. Top-soðið, innri ryðfríu stáli hillu
10. Program læsa út
11. Hlið-ríðandi HMDS kolba